一种钟摆式基板蚀刻装置及蚀刻工艺
基本信息
| 申请号 | CN202111159789.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113896427A | 公开（公告）日 | 2022-01-07 |
| 申请公布号 | CN113896427A | 申请公布日 | 2022-01-07 |
| 分类号 | C03C15/00（2006.01）I | 分类 | 玻璃；矿棉或渣棉; |
| 发明人 | 严立巍;符德荣;陈政勋;文锺 | 申请（专利权）人 | 浙江同芯祺科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京同辉知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 李晓峰 |
| 地址 | 312000浙江省绍兴市越城区皋埠街道银桥路326号1幢4楼415室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种钟摆式基板蚀刻装置，包括蚀刻槽，蚀刻槽外壁上方对称固定安装升降导轨，升降导轨之间固定安装横板，横板两端与升降导轨滑动连接，横板中间固定安装钟摆机构，钟摆机构底部固定安装蚀刻篮，蚀刻篮内壁对称固定安装若干夹板，夹板均匀等距设置，夹板远离蚀刻篮一侧设有V形槽，V形槽的内壁固定安装弹性垫，蚀刻槽底部固定安装气体分布器。本发明通过钟摆机构带动蚀刻篮做钟摆简谐运动，基板在两个夹板存在一定的偏斜角度，使基板摆动时与蚀刻液之间存在一定的应力缓冲，减少了基板破损的风险，同时随着蚀刻槽底部的气体分布器均匀产生向上的垂直气泡，以达到无死角的反应生成物移除，提高基板表面的蚀刻均匀度。 |
