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一种晶圆级低温环境模拟测试装置

基本信息

申请号 CN202110725286.X 申请日 -
公开（公告）号 CN113376498A 公开（公告）日 2021-09-10
申请公布号 CN113376498A 申请公布日 2021-09-10
分类号 G01R31/26（2014.01）I 分类 测量；测试;
发明人 杭晓宇;邹桂明;常兵;管林翔;王冰 申请（专利权）人 江苏七维测试技术有限公司
代理机构 成都三诚知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 饶振浪
地址 214000江苏省无锡市南湖大道503号3幢201
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种晶圆级低温环境模拟测试装置，其特征在于，包括测试箱（1），设置在测试箱（1）内且将测试箱（1）内部分隔成测试腔（38）和常温腔（39）的隔板（24），设置在测试腔（38）内的测试板（13），安装于测试板（13）上的承载台（21），设置在常温腔（39）内的托板（20）和下拉机构等。本发明在测试箱内设置有测试腔和常温腔，测试时先将测试腔和常温腔空气排出，并在测试腔内通入低温干燥空气，因此晶圆在测试时不会在其表面结霜。晶圆测试完成后通过下拉机构将晶圆移到常温腔内，使晶圆升至常温后再取出测试箱，有效防止晶圆与外部空气接触而使其表面形成水滴。