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一种晶圆铝条烧写确认测试防护装置

基本信息

申请号 CN202110806186.X 申请日 -
公开（公告）号 CN113485540A 公开（公告）日 2021-10-08
申请公布号 CN113485540A 申请公布日 2021-10-08
分类号 G06F1/20（2006.01）I;G06F8/61（2018.01）I 分类 计算；推算；计数;
发明人 常兵;邹桂明;杭晓宇;管林翔;王冰 申请（专利权）人 江苏七维测试技术有限公司
代理机构 成都三诚知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 饶振浪
地址 214000江苏省无锡市南湖大道503号3幢201
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了晶圆加工领域的一种晶圆铝条烧写确认测试防护装置，包括安装盒，安装盒内安装有烧写器，烧写器的右侧于安装盒内安装有烧写盒，烧写盒内安装有两个晶圆固定装置，安装盒的顶部安装有顶盖装置，安装盒的右侧安装有用于固定顶盖装置的锁紧装置，安装盒的底部安装有延伸至其内部的水冷装置，水冷装置包括：水箱、水泵、主体管、吸热球和冷却管，水箱安装于安装盒的底部，水箱内安装有水泵，安装盒的内部左右两侧分别安装有一个主体管，主体管上设置有多个吸热球，水泵通过水管与主体管相连，主体管通过水管与冷却管相连，冷却管通过水管与水箱相连。本发明结构简单，散热性好，防护性强。