一种适用于多种晶圆尺寸的真空吸盘
基本信息
| 申请号 | CN202122858173.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216528817U | 公开（公告）日 | 2022-05-13 |
| 申请公布号 | CN216528817U | 申请公布日 | 2022-05-13 |
| 分类号 | H01L21/683（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李华;贝国平;樊舒凯 | 申请（专利权）人 | 苏州赋金科技有限公司 |
| 代理机构 | 盐城海纳川知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 215222江苏省苏州市吴江区黎里镇汾湖大道558号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种适用于多种晶圆尺寸的真空吸盘包括由氧化铝陶瓷制成的真空吸盘，所述真空吸盘的底部设置有内环形凸台、外环形凸台和设置在其中心的抽真空气孔，所述内环形凸台内均布有支撑柱和环绕所述抽真空气孔设置的定位孔，所述定位孔的口部均设置有环形平台，所述内环形凸台和外环形凸台之间环布所述定位孔，本实用新型可以覆盖多种尺寸晶圆的装夹，采用本实用新型的设计可以加工一种尺寸的真空吸盘即可应对所有晶圆尺寸的工况，大大降低了定制多种吸盘所需要的成本和工期。 |
