一种气悬浮真空吸盘
基本信息
| 申请号 | CN202122858191.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216749847U | 公开（公告）日 | 2022-06-14 |
| 申请公布号 | CN216749847U | 申请公布日 | 2022-06-14 |
| 分类号 | H01L21/683（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李华;贝国平;樊舒凯 | 申请（专利权）人 | 苏州赋金科技有限公司 |
| 代理机构 | 盐城海纳川知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 215222江苏省苏州市吴江区黎里镇汾湖大道558号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种气悬浮真空吸盘包括基座和设置在基座顶部的微孔陶瓷，所述基座的底部设置有向所述微孔陶瓷提供正负压的气管，所述气管联通一气流转换阀，本实用新型有利于样品的转移，不需要额外的夹持设备，同时脉冲工作的气流转换阀能够减缓降低晶圆片靠近微孔陶瓷的速度和动能，保护晶圆片。 |
