一种激光器阵列的制作方法及激光器阵列
基本信息
| 申请号 | CN201610083159.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107046229A | 公开（公告）日 | 2017-08-15 |
| 申请公布号 | CN107046229A | 申请公布日 | 2017-08-15 |
| 分类号 | H01S5/40(2006.01)I;H01S5/12(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李连艳;陈向飞;陈玉桃;陆骏;张云山;施跃春 | 申请（专利权）人 | 南京威宁锐克信息技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 黄熊 |
| 地址 | 211106 江苏省南京市江宁经济技术开发区胜太路68号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种激光器阵列的制作方法及激光器阵列。该方法包括：利用重构-等效啁啾技术制备用于构成激光器阵列的无源芯片；制备用于构成激光器阵列的外延片；利用芯片键合技术对所述无源芯片和外延片进行键合；通过对所述外延片进行刻蚀及沉积金属等后续工艺，制备激光器阵列。本发明解决了现有技术中难以制备波长精确的硅基激光器阵列的问题。 |
