一种负载有纳米银的氟化石墨烯复合材料的制备方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种负载有纳米银的氟化石墨烯复合材料的制备方法

基本信息

申请号	CN201610594377.3	申请日	-
公开（公告）号	CN106086820B	公开（公告）日	2019-01-11
申请公布号	CN106086820B	申请公布日	2019-01-11
分类号	C23C16/511（2006.01）I; C23C16/30（2006.01）I; C23C14/30（2006.01）I; C23C14/18（2006.01）I; B82Y40/00（2011.01）I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	王振中	申请（专利权）人	厦门烯成石墨烯科技有限公司
代理机构	-	代理人	-
地址	361015 福建省厦门市火炬高新区创业园伟业楼南楼S301c室
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种负载有纳米银的氟化石墨烯复合材料的制备方法，包括如下步骤：1)将石墨烯薄膜至于PECVD反应室中，设压力为5×10‑4‑10‑3Pa，温度为200‑600℃，等离子体产生的微波功率为300‑500W，以氩气为载体，通入氟气，反应1‑20h，得到氟化石墨烯薄膜；2)将得到的氟化石墨烯薄膜转移至原子沉积腔室中，采用惰性气体除气20min‑30min，调节超真空反应腔的真空度为10‑6‑10‑7Pa，调节温度为400℃‑700℃；3)以银为靶材，通过电子束轰击蒸发形成银反应气源，通入到沉积腔室中，时间为20‑100ns，再通入惰性载气50‑200ns，重复步骤5‑20min，交替通入银反应气源和惰性载气，在氟化石墨烯薄膜上生长形成纳米银，得到负载有纳米银的氟化石墨烯复合材料。本发明得到的复合材料具有优良性能。