掩膜版及滤光片
基本信息
| 申请号 | CN201911174507.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112859511A | 公开（公告）日 | 2021-05-28 |
| 申请公布号 | CN112859511A | 申请公布日 | 2021-05-28 |
| 分类号 | G03F1/54(2012.01)I;G02F1/1335(2006.01)I;G02F1/1339(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 王红光;王菁晶;范刚洪;王群;徐广军 | 申请（专利权）人 | 上海仪电显示材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 唐嘉 |
| 地址 | 201108上海市闵行区华宁路3306弄160号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种掩膜版及滤光片，其中，所述掩膜版包括：基板；吸收层，位于所述基板上；多个多边形开口，位于所述吸收层内且暴露出所述基板，所述多边形开口具有多个角部，相邻所述多边形开口的其中一个所述角部相对设置。利用本发明实施例提供的掩膜版形成的滤光片上的间隔柱，可以降低相邻间隔柱之间的相连高度，提高间隔柱尺寸的测量准确性。 |
