光罩及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN201911318776.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113009778A | 公开（公告）日 | 2021-06-22 |
| 申请公布号 | CN113009778A | 申请公布日 | 2021-06-22 |
| 分类号 | G03F1/68;G03F1/54;G03F1/62 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 纪荣昌;于海涛;陈瑶;张莉 | 申请（专利权）人 | 上海仪电显示材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 唐嘉 |
| 地址 | 201108 上海市闵行区华宁路3306弄160号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种光罩及其制作方法，其中，制作方法包括：提供透明基材；在所述透明基材表面形成吸收层；在所述吸收层表面形成半透膜层；在所述半透膜层表面形成光催化薄膜层。本发明提供的制作方法形成的光罩，新增一层光催化薄膜层，可以解决光罩的雾化问题。 |
