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一种振动复合柔性磨抛装置

基本信息

申请号	CN201710528424.9	申请日	-
公开（公告）号	CN107414665B	公开（公告）日	2019-12-10
申请公布号	CN107414665B	申请公布日	2019-12-10
分类号	B24B37/10（2012.01）; B24B37/26（2012.01）; B24B37/34（2012.01）; B24B57/02（2006.01）	分类	磨削；抛光;
发明人	肖远健	申请（专利权）人	江苏普锐斯钻石工具有限公司
代理机构	厦门智慧呈睿知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	郭福利;魏思凡
地址	361100 福建省厦门市同安区集安路7-13号
法律状态	-

摘要

本发明提供一种振动复合柔性磨抛装置，所述磨抛装置包括连接轴、背板、压电陶瓷、研磨盘以及研磨垫，所述背板固定在所述连接轴的一端，所述研磨盘固定在所述背板上；所述背板开设有容腔，所述背板的边缘朝向所述研磨盘凸起环形的固定部，所述研磨盘包括环形肩以及位于环形肩中部的凸台，所述环形肩与所述固定部固定连接，所述凸台与所述环形肩之间通过柔性铰链连接，所述容腔内对应所述凸台的位置设有所述压电陶瓷；所述研磨垫贴设在所述凸台上。本发明通过让凸台中部的振动幅度大于外围的振动幅度，有助于控制结构柔性和研磨的材料去除率。进一步，研磨垫的研磨面上开设有呈螺旋线分布的细沟槽使得研磨加工材料去除更佳均匀，提高研磨平面的磨抛质量。