一种无尘室的正压检测装置

基本信息

申请号 CN201821572521.4 申请日 -
公开(公告)号 CN209387189U 公开(公告)日 2019-09-13
申请公布号 CN209387189U 申请公布日 2019-09-13
分类号 G01L11/00 分类 测量;测试;
发明人 李超恒 申请(专利权)人 昆山青峰伟业电路板有限公司
代理机构 苏州根号专利代理事务所(普通合伙) 代理人 刘凌燕
地址 215300 江苏省苏州市昆山市千灯镇宏信路99号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种无尘室的正压检测装置,包括一气囊及与所述气囊连接的开关,所述开关包括一PP片和一不锈钢片,所述PP片的一端与所述不锈钢片一端通过一电线连接,所述不锈钢片的另一端上设置一铜片,所述PP片的另一端设置一与所述电线连接的铜片;所述气囊与所述PP片连接,且所述气囊的内部气压与无尘室的设定压力相等;通过一内部气压与无尘室设定压力相等的气囊控制的开关,当无尘室内压力小于设定压力值时,气囊扩张,开关闭合,当无尘室内压力大于或等于设定值时,开关打开,实现了对无尘室内压力的检测,进而实现对无尘室内异物来源的控制。