一种硅片脱胶用传输机械装置
基本信息
| 申请号 | CN201620882158.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206003755U | 公开（公告）日 | 2017-03-08 |
| 申请公布号 | CN206003755U | 申请公布日 | 2017-03-08 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王学军 | 申请（专利权）人 | 平凉中电科新能源技术有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 744000 甘肃省平凉市崆峒区工业园区东西路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及机械领域，尤其涉及一种硅片脱胶用传输机械装置。包含承载板，所述承载板上包含两组动臂结构，所述动臂结构包含固定在承载板上的气缸，气缸伸出气缸轴连接边轴，边轴包含两组且分别位于承载板的两侧，边轴能够被气缸轴推动着前进，边轴边侧固定有挂钩臂，挂钩臂下方为挂钩。有益效果：导轨对于气缸和连杆的运动进行导向，挂钩整体固定在连杆两端，做挂钩和脱钩动作，可带动料篮在不同工艺槽之间运动，对硅片进行脱胶，霍尔传感器对挂钩和脱钩位置进行检测并报警。 |
