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一种自调节式抛光压头

基本信息

申请号 CN202121197124.5 申请日 -
公开（公告）号 CN214771306U 公开（公告）日 2021-11-19
申请公布号 CN214771306U 申请公布日 2021-11-19
分类号 B24B41/04（2006.01）I;B24B41/00（2006.01）I 分类 磨削；抛光;
发明人 寇明虎;刘泳沣 申请（专利权）人 北京特思迪半导体设备有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 101300北京市顺义区顺强路1号1幢2号楼101
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开一种自调节式抛光压头，包括压头，其特征在于：还包括压头过渡板、限位拉钉、压头中板、中圈压环、弹性胶膜、外圈压环、内圈压环和调节快接插头，所述压头过渡板通过紧固螺栓和垫圈与驱动主轴连接，所述紧固螺栓从所述压头过渡板的底部向上穿过垫圈和压头过渡板通孔与驱动主轴连接，所述压头中板固定安装在所述压头过渡板的下侧，所述压头中板的下侧设置所述弹性胶膜，所述弹性胶膜的下侧设置压头，所述调节快插接头固定安装在所述压头中板的上侧，用于给所述弹性胶膜充放气。确保工件与大盘密切接触，提高了加工精度和加工效率。