一种真空压头陶瓷滑套结构
基本信息
| 申请号 | CN202023159351.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213981663U | 公开（公告）日 | 2021-08-17 |
| 申请公布号 | CN213981663U | 申请公布日 | 2021-08-17 |
| 分类号 | F16C29/02（2006.01）I;B24B41/00（2006.01）I | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 寇明虎;刘泳沣 | 申请（专利权）人 | 北京特思迪半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 101300北京市顺义区顺强路1号1幢2号楼101 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开一种真空压头陶瓷滑套结构，包括滑杆套、滑套和滑套座，所述滑套间隙配合套设在所述滑杆套的外表面，所述滑套座固定套设在所述滑套的外表面，套设有滑套座的所述滑套可沿所述滑杆套的外表面滑动，所述滑杆套可沿着滑杆进行滑动，所述滑杆套和滑套的材质均采用陶瓷材质，滑套座的材质为殷钢。解决了现有滑套因加工温度环境变化导致的变形问题，具有热稳定性高的优点。 |
