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一种抛光机陶瓷盘定位结构

基本信息

申请号 CN202121459608.2 申请日 -
公开（公告）号 CN215547838U 公开（公告）日 2022-01-18
申请公布号 CN215547838U 申请公布日 2022-01-18
分类号 B24B41/06（2012.01）I;B24B55/00（2006.01）I 分类 磨削；抛光;
发明人 寇明虎;刘泳沣 申请（专利权）人 北京特思迪半导体设备有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 101300北京市顺义区顺强路1号1幢2号楼101
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开一种抛光机陶瓷盘定位结构，包括定位轴，所述定位轴固定安装在抛光机上的抛光盘中心处，还包括气缸、滑动轴、轴套、支撑板、连接杆、固定板、上连接板、下连接板、拉杆、挡块和连接板弹簧，所述挡块设置有四个，分别转动连接所述下连接板的周围，所述拉杆设置有四个，每个所述拉杆的下端可转动连接在每个所述挡块的上侧，每个所述拉杆的上端均与所述上连接板转动连接，所述下连接板的上端面中心处处与所述连接轴的底部固定连接，所述上连接板套设在所述连接轴上并能够沿所述连接轴移动。解决了目前市场上陶瓷盘定位不准确的问题，有效提高了加工的精度和加工效率。