一种抛光机漏液槽
基本信息
| 申请号 | CN202023097806.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214025178U | 公开（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申请公布号 | CN214025178U | 申请公布日 | 2021-08-24 |
| 分类号 | B24B41/00（2006.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 寇明虎;刘泳沣 | 申请（专利权）人 | 北京特思迪半导体设备有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 101300北京市顺义区顺强路1号1幢2号楼101 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种抛光机漏液槽，包括槽体、漏液孔、槽体固定块、摆动臂轴孔和研磨盘孔，所述摆动臂轴孔和研磨盘孔设置在槽体内部并贯穿漏液槽的底部，其中，所述研磨盘孔用于安装抛光机的研磨盘，所述摆动臂轴孔用于安装抛光机的摆动臂轴，所述槽体固定块固定连接在槽体侧面，用于固定安装该抛光机漏液槽，所述漏液孔设置在槽体的底部，槽体的底部为斜坡设计，所述漏液孔固定设置在漏液槽底部斜度的最低点处。解决了抛光液易积存于漏液槽、腐蚀漏液槽的问题，具有抛光液轻松排出，防腐蚀的优点。 |
