一种基于冗余金属的电磁防护方法
基本信息
| 申请号 | CN202110776258.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113506791A | 公开（公告）日 | 2021-10-15 |
| 申请公布号 | CN113506791A | 申请公布日 | 2021-10-15 |
| 分类号 | H01L23/552（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 蒋文超;商振;吴美琪 | 申请（专利权）人 | 世芯电子（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 无锡市汇诚永信专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 曹慧萍 |
| 地址 | 200030上海市徐汇区龙华中路596号A楼11楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种基于冗余金属的电磁防护方法，其结构设计简单合理，不仅可降低芯片结构复杂度，而且可降低制造成本，将该方法应用于半导体芯片中，芯片包括晶圆、沉积于晶圆的若干金属层、冗余金属层，金属层包括信号金属层，信号金属层用于信号传输，信号金属层周围的冗余金属层接地后形成若干屏蔽墙，所述屏蔽墙包括至少一层所述冗余金属层。 |
