一种震动探测器及其制作方法
基本信息
申请号 | CN201910726910.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN110411559A | 公开(公告)日 | 2019-11-05 |
申请公布号 | CN110411559A | 申请公布日 | 2019-11-05 |
分类号 | G01H17/00(2006.01)I; G08B13/02(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 胡双; 张建超 | 申请(专利权)人 | 深圳中科系统集成技术有限公司 |
代理机构 | 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 深圳中科系统集成技术有限公司 |
地址 | 518000 广东省深圳市南山区粤海街道高新区中区科丰路2号特发信息港B栋704 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本申请公开了一种震动探测器,包括:基板,所述基板的第一表面的边缘具有插针控深孔,且所述插针控深孔的内壁设置有铜膜层;位于所述基板的第二表面的震动传感器;位于所述第一表面的与所述震动传感器匹配的器件、芯片;其中,所述第一表面与所述第二表面相对。可见,本申请中震动探测器的震动传感器和与震动传感器匹配的器件、芯片分别位于基板两个相对的表面上,避免采用震动传感器、器件、芯片位于同一表面的设计,从而使基板的尺寸大大减小,因此,震动探测器的整体尺寸减小,使震动探测器向小型化发展。此外,本申请还提供一种具有上述优点的震动探测器制作方法。 |
