一种多晶硅片的清洗设备
基本信息
| 申请号 | CN202020400662.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211989971U | 公开（公告）日 | 2020-11-24 |
| 申请公布号 | CN211989971U | 申请公布日 | 2020-11-24 |
| 分类号 | B08B3/04(2006.01)I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 黄贤强 | 申请（专利权）人 | 浙江溢闳光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 浙江永航联科专利代理有限公司 | 代理人 | 俞培锋 |
| 地址 | 314302浙江省嘉兴市海盐县澉浦长青路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种多晶硅片的清洗设备，属于机械技术领域。它解决了现有硅片清洗系统清洗效率较低等技术问题。本多晶硅片的清洗设备，包括底座，底座上设置有上料输送带和下料输送带，其特征在于，所述上料输送带和下料输送带之间设置有上料座、清洗槽一和清洗槽二，上料座、清洗槽一和清洗槽二依次固定在底座上，上料座上可放置有用于存放硅片的放料筐，上料座上还固定有用于定位放料筐的挡板，所述底座上还设置有用于运输放料筐的运输结构。本实用新型具有工作效率高的优点。 |
