一种用于多晶硅片的烘干设备

基本信息

申请号 CN202020401925.8 申请日 -
公开(公告)号 CN211876676U 公开(公告)日 2020-11-06
申请公布号 CN211876676U 申请公布日 2020-11-06
分类号 F26B15/18(2006.01)I 分类 干燥;
发明人 黄贤强 申请(专利权)人 浙江溢闳光电科技有限公司
代理机构 浙江永航联科专利代理有限公司 代理人 俞培锋
地址 314302浙江省嘉兴市海盐县澉浦长青路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种用于多晶硅片的烘干设备属于机械技术领域。它解决了现有太阳能硅片烘干炉对多晶硅片背面烘干效果较差等技术问题。本用于多晶硅片的烘干设备,包括底座,其特征在于,所述底座上设置有用于输送多晶硅片的输送结构,底座上依次固定有用于烘干多晶硅片的烘干箱一和烘干箱二,底座上还设置有用于翻转多晶硅片的翻转机构,所述翻转机构包括安装座、安装块、两个转动臂和两个吸盘,安装座固定在底座上,安装块位于烘干箱一和烘干箱二之间,安装块转动设置在安装座上,且安装块与一动力结构相连接,安装块的两端分别与转动臂相连接,吸盘固定在转动臂上。本实用新型具有烘干效果好的优点。