一种用于多晶硅片的脱胶机
基本信息
申请号 | CN202020381340.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN211989983U | 公开(公告)日 | 2020-11-24 |
申请公布号 | CN211989983U | 申请公布日 | 2020-11-24 |
分类号 | B08B3/08(2006.01)I | 分类 | 清洁; |
发明人 | 黄贤强 | 申请(专利权)人 | 浙江溢闳光电科技有限公司 |
代理机构 | 浙江永航联科专利代理有限公司 | 代理人 | 俞培锋 |
地址 | 314302浙江省嘉兴市海盐县澉浦长青路1号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供了一种用于多晶硅片的脱胶机,属于机械技术领域。它解决了现有自动化硅片脱胶机无法密封,在脱胶过程中会有酸气的溢出等技术问题。本用于多晶硅片的脱胶机,包括底座,底座上固定有脱胶水槽,所述脱胶水槽上部具有开口,其特征在于,在底座上还固定有安装支架,安装支架上连接有安装板,安装板上固定有气缸,气缸的活塞杆上固定有盖板,盖板能将所述开口密封住,气缸的活塞杆末端还固定有安装架,安装架通过安装结构设置有用于放置硅片的放置箱,所述脱胶水槽上开设有抽气孔,抽气孔与一抽气管密封连通,抽气管与一抽气泵相连通,脱胶水槽上还设置有用于搅拌的搅拌机构。本实用新型具有使用效果好的优点。 |
