一种高效多晶硅锭铸锭炉
基本信息
申请号 | CN202020222514.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN211872144U | 公开(公告)日 | 2020-11-06 |
申请公布号 | CN211872144U | 申请公布日 | 2020-11-06 |
分类号 | C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 黄贤强 | 申请(专利权)人 | 浙江溢闳光电科技有限公司 |
代理机构 | 浙江永航联科专利代理有限公司 | 代理人 | 俞培锋 |
地址 | 314302浙江省嘉兴市海盐县澉浦长青路1号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供了一种高效多晶硅锭铸锭炉,包括机座,机座上通过支架固定有上炉体,机座上水平固定有轨道,轨道上设置有滑座,滑座与一能驱动其来回移动的驱动结构相连,滑座两端均活动设置有升降框,升降框分别与一能带动其上下移动的移动组件相连,升降框上分别固定有下炉体,且任意一个下炉体均能与上炉体组合形成一个完整的炉体,机座上还设置有吹扫机构,吹扫机构包括安装框和气泵,安装框固定在支架上,安装框两端均水平固定有吹扫管,吹扫管上具有若干出气孔,且出气孔朝下,吹扫管分别通过联接管端部相连通,联接管端部还分别设置有电磁阀,联接管中部和气泵相连,气泵固定在机座上。本实用新型具有实用性强的优点。 |
