一种高效多晶硅锭铸锭炉

基本信息

申请号 CN202020222514.2 申请日 -
公开(公告)号 CN211872144U 公开(公告)日 2020-11-06
申请公布号 CN211872144U 申请公布日 2020-11-06
分类号 C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 黄贤强 申请(专利权)人 浙江溢闳光电科技有限公司
代理机构 浙江永航联科专利代理有限公司 代理人 俞培锋
地址 314302浙江省嘉兴市海盐县澉浦长青路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种高效多晶硅锭铸锭炉,包括机座,机座上通过支架固定有上炉体,机座上水平固定有轨道,轨道上设置有滑座,滑座与一能驱动其来回移动的驱动结构相连,滑座两端均活动设置有升降框,升降框分别与一能带动其上下移动的移动组件相连,升降框上分别固定有下炉体,且任意一个下炉体均能与上炉体组合形成一个完整的炉体,机座上还设置有吹扫机构,吹扫机构包括安装框和气泵,安装框固定在支架上,安装框两端均水平固定有吹扫管,吹扫管上具有若干出气孔,且出气孔朝下,吹扫管分别通过联接管端部相连通,联接管端部还分别设置有电磁阀,联接管中部和气泵相连,气泵固定在机座上。本实用新型具有实用性强的优点。