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采用微波等离子体制备饱和氮杂硅酸镧固体电解质薄膜的方法

基本信息

申请号 CN201210123116.5 申请日 -
公开（公告）号 CN102637889B 公开（公告）日 2015-01-07
申请公布号 CN102637889B 申请公布日 2015-01-07
分类号 H01M8/10(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 黄志良;陈亚男;陈常连;王树林;季家友;池汝安;鲁冕;石月 申请（专利权）人 武汉工大科技园发展有限公司
代理机构 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 代理人 武汉工程大学;武汉化院科技有限公司
地址 430074 湖北省武汉市洪山区雄楚大街693号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及采用微波等离子体制备饱和氮杂硅酸镧固体电解质薄膜的方法，包括有以下步骤：1）取TEOS和La2O3，加入乙醇和硝酸加热溶解，再加入去离子水制成混合溶液；2）氨水调节pH值，加热搅拌，水浴加热得到均匀溶胶；3）旋涂在玻璃片上，干燥，得到凝胶薄膜；4）将凝胶薄膜放入马弗炉中煅烧，退火，得到初级薄膜；5）将初级薄膜放入微波等离子体化学气相沉积装置中，抽真空，微波功率500～800W反应，得到次级薄膜；6）将次级薄膜，进行烧结，即得。本发明的有益效果是:提高了电解质的电导率，同时氮掺杂降低了电解质的工作温度（500℃～800℃），所得产品具有低活化能和高氧离子电导率，高效、无污染。