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一种直排串联真空泵组

基本信息

申请号 CN202010248420.7 申请日 -
公开（公告）号 CN111255690B 公开（公告）日 2021-09-03
申请公布号 CN111255690B 申请公布日 2021-09-03
分类号 F04C23/02;F04C25/02;F04C18/12;F04C29/12 分类 液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵;
发明人 荣易 申请（专利权）人 江苏格里克真空技术有限公司
代理机构 北京酷爱智慧知识产权代理有限公司 代理人 刘娟
地址 226000 江苏省南通市如皋市下原镇桃李路25号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种直排串联真空泵组，包括三轴模块化干式真空泵、真空泵驱动电机、前级真空泵装置、三通管道和弹簧式单向阀，所述真空泵驱动电机与三轴模块化干式真空泵的中泵轴传动连接，所述三通管道三个端口中的一个端口处设置有弹簧式单向阀，三通管道的另外两个端口分别与三轴模块化干式真空泵的排气口和前级真空泵装置的进气口连通，所述前级真空泵装置的进气口处设有阀门；通过使用本装置，使用一个极小的液环真空泵或者油式旋片真空泵就可以在0‑100kpa时都能够满足最大的抽气能力，不受环境影响，可以达到很高的真空度(0.01‑0.1Pa)，同时在任何阶段可以满足最经济的能耗需求。