一种使用罗茨真空泵的串并联模块式真空系统
基本信息
| 申请号 | CN202022411646.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213574607U | 公开（公告）日 | 2021-06-29 |
| 申请公布号 | CN213574607U | 申请公布日 | 2021-06-29 |
| 分类号 | F04C23/00（2006.01）I;F04C25/02（2006.01）I;F04C29/00（2006.01）I;F04C29/12（2006.01）I;F04C28/02（2006.01）I;F04C28/24（2006.01）I;F04C28/26（2006.01）I | 分类 | 液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵; |
| 发明人 | 荣易 | 申请（专利权）人 | 江苏格里克真空技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京酷爱智慧知识产权代理有限公司 | 代理人 | 钟继莲 |
| 地址 | 226000江苏省南通市如皋市下原镇桃李路25号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种使用罗茨真空泵的串并联模块式真空系统，包括一二级罗茨真空泵组、旁通管路、第四级罗茨真空泵、并联旁通气动阀、第一三通切换阀和第五级真空泵；一二级罗茨真空泵组和旁通管路并联，其进气口与主管道连接，出气口分别于第四级罗茨真空泵和并联旁通气动阀连接，旁通管路上安装有旁通调节阀；第一三通切换阀的第一端口与第四级罗茨真空泵的排气口连接，第一三通切换阀的第二端口和并联旁通气动阀的出气口均与第五级真空泵的进气口连接，第一三通切换阀的第三端口与第五级真空泵的排气口均与排气管连接；本申请不仅减少前级泵的数量，又降低罗茨真空泵的高功率电机的数量，实现了初期抽气能力大，高真空时真空度高的特点。 |
