辅助图形的添加方法、装置及测试版图
基本信息
| 申请号 | CN202110492632.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112904662B | 公开（公告）日 | 2021-07-23 |
| 申请公布号 | CN112904662B | 申请公布日 | 2021-07-23 |
| 分类号 | G03F1/36（2012.01）I;G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 赵广;罗招龙;王康 | 申请（专利权）人 | 南京晶驱集成电路有限公司 |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 周耀君 |
| 地址 | 210006江苏省南京市秦淮区江宁路5号D栋409-32号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种辅助图形的添加方法、装置及测试版图，应用于半导体技术领域。在本发明提供的辅助图形的添加方法中，首先通过确定相邻两个错位排布的的主图形的外围区域形成的拐角区域，然后，再在拐角区域中识别出需要添加本发明提供的L型辅助图形的待处理拐角区域，并在该待处理的拐角区域中添加L型辅助图形，从而避免了现有技术中由于需要对该拐角区域中的每个主图形均添加辅助图形，而导致添加的多个辅助图形存在冲突，进而导致主图工艺窗口低的问题。因此，本发明提供的辅助图形的添加方法提高了版图的光刻工艺窗口，提升了OPC修正过程中的准确度，并有效提升了产品良率。 |
