预测图形桥联的方法、装置及电子设备
基本信息
| 申请号 | CN202110951881.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113406858B | 公开（公告）日 | 2021-12-10 |
| 申请公布号 | CN113406858B | 申请公布日 | 2021-12-10 |
| 分类号 | G03F1/36;G03F7/20 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 刘秀梅;罗招龙;魏来;王康 | 申请（专利权）人 | 南京晶驱集成电路有限公司 |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 田婷 |
| 地址 | 210006 江苏省南京市秦淮区江宁路5号D栋409-32号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种预测图形桥联的方法、装置及电子设备。具体的，通过将实际光刻工艺过程中，光刻工艺制程的波动对曝光在晶圆上的图形的桥联影响，模拟成对已建立的OPC模型的光强阈值的影响，从而在设计版图流片之前，通过对已建OPC模型的光强阈值进行修改的方式，利用修改后的OPC模型对设计版图的测试版图进行多次仿真分析，以便在设计版图进行流片之前，就检查出设计版图中可能由于光刻工艺制程的波动而在发生桥联的主图形，并对检查出的可能发生桥联的主图形进行修正，进而提升产品良率。 |
