光学邻近修正模型的建模方法
基本信息
| 申请号 | CN202110951888.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113406859B | 公开（公告）日 | 2021-11-26 |
| 申请公布号 | CN113406859B | 申请公布日 | 2021-11-26 |
| 分类号 | G03F1/36;G03F7/20 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 刘秀梅;罗招龙;李可玉;杜远远 | 申请（专利权）人 | 南京晶驱集成电路有限公司 |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 田婷 |
| 地址 | 210006 江苏省南京市秦淮区江宁路5号D栋409-32号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种光学邻近修正模型的建模方法，至少包括以下步骤：设计测试图形，并根据所述测试图形制作测试光罩；利用所述测试光罩将所述测试图形转移至晶圆上，在所述晶圆上形成实际图形，并收集所述实际图形的第一晶圆数据；通过所述第一晶圆数据确定离焦量范围；根据所述离焦量范围进行拟合，以建立光学邻近修正模型。即本发明通过提前确定离焦量范围，且在所述光学邻近修正模型的建模的拟合过程中，将离焦量设定在确定的离焦量范围内，可以减少回归处理的时间和次数，缩短光学邻近修正模型的建模时间，提高建模的效率。 |
