具有超结晶体管机构的集成电路系统和其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202011428328.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112436052A | 公开（公告）日 | 2021-03-02 |
| 申请公布号 | CN112436052A | 申请公布日 | 2021-03-02 |
| 分类号 | H01L29/423(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L21/8234(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I;H01L27/088(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 苏毅 | 申请（专利权）人 | 南京紫竹微电子有限公司 |
| 代理机构 | 上海容慧专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 于晓菁 |
| 地址 | 710018 陕西省西安市西安经济技术开发区草滩生态产业园尚稷路8928号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种包含分立栅极超结单元的集成电路系统，所述分立栅极超结单元包含：高度掺杂衬底，其包含第一极性；包含所述第一极性的外延层，其在所述高度掺杂衬底上生长；条形栅极沟槽，其在所述外延层中形成；条形栅极多晶硅层，其在所述条形栅极沟槽中形成；包含第二极性的点主体植入物，其邻近与所述条形栅极多晶硅层相对的所述条形栅极沟槽植入；以及包含所述第二极性的导电列，其在所述点主体植入物的中心中植入并且延伸到所述外延层中。 |
