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高速巨量晶粒转移设备

基本信息

申请号	CN202110708613.0	申请日	-
公开（公告）号	CN113471121A	公开（公告）日	2021-10-01
申请公布号	CN113471121A	申请公布日	2021-10-01
分类号	H01L21/677（2006.01）I;H01L21/78（2006.01）I;H01L33/00（2010.01）I	分类	基本电气元件;
发明人	邱国诚;周峻民;李浩然;赖远军	申请（专利权）人	东莞市德镌精密设备有限公司
代理机构	厦门市新华专利商标代理有限公司	代理人	吴成开;徐勋夫
地址	523000广东省东莞市东城街道桑园工业路17号5栋
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种高速巨量晶粒转移设备，包括有机架、控制器、玻璃移动装置、激光器、CCD移动装置以及晶圆移动装置；该CCD移动装置设置在机架上并位于玻璃移动装置的侧旁，CCD移动装置与控制器连接；该晶圆移动装置设置在机架上并位于玻璃移动装置的侧旁，晶圆移动装置与控制器连接。通过设置有玻璃移动装置、激光器、CCD移动装置以及晶圆移动装置，以及CCD移动装置以及晶圆移动装置均可在控制器的控制下以玻璃移动装置中的玻璃为基准进行移动，并通过激光器将晶圆上的晶粒击打到玻璃上，从而实现晶粒高速巨量的转移，激光击打的方式转移晶粒的效果也更加稳定，可避免晶粒尺寸和间隙问题，使得产品的良品率也更高，能有效保证产品的品质。