一种旋转紫外曝光机
基本信息
| 申请号 | CN201810680434.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108490745A | 公开（公告）日 | 2020-12-22 |
| 申请公布号 | CN108490745A | 申请公布日 | 2020-12-22 |
| 分类号 | G03F7/20 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 覃佐波;刘莎莉 | 申请（专利权）人 | 合肥泰沃达智能装备有限公司 |
| 代理机构 | 北京和信华成知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 胡剑辉 |
| 地址 | 230012 安徽省合肥市新站区武里山路1399号鑫昊产业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种旋转紫外曝光机，包括转运台、涂布机、曝光机；所述涂布机位于曝光机一侧，转运台依次穿过涂布机、曝光机，曝光机顶部设置有紫外光源发生器；曝光机中间设置有曝光空腔，曝光空腔内设置有旋转曝光器，旋转曝光器通过光源入射器连接到紫外光源发生器；所述转运台下表面安装在第一底座横梁、第二底座横梁，第一底座横梁设置在涂布机下方的涂布防震底座上；第二底座横梁设置在曝光机下方的曝光防震底座上。本发明具有不需要曝光用掩模板、加工速度快、加工效率高、加工尺寸大、加工兼容性强的特点。 |
