半导体器件

基本信息

申请号 CN201180030470.7 申请日 -
公开(公告)号 CN102947921B 公开(公告)日 2014-10-01
申请公布号 CN102947921B 申请公布日 2014-10-01
分类号 H01L21/338(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L29/41(2006.01)I;H01L29/47(2006.01)I;H01L29/778(2006.01)I;H01L29/80(2006.01)I;H01L29/812(2006.01)I;H01L29/861(2006.01)I;H01L29/872(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 中岛昭;桑卡拉纳拉亚南·埃克纳特马达蒂尔;住田行常;河合弘治 申请(专利权)人 远山新材料科技有限公司
代理机构 北京三幸商标专利事务所(普通合伙) 代理人 刘激扬
地址 英国谢菲尔德市
法律状态 -

摘要

摘要 通过利用极化结,从而根本性地缓和传导通道的局部中产生的峰电场,实现高耐压化,同时消除电流崩塌的产生以达到实际应用的水平,容易实现低损耗GaN类半导体器件。半导体器件具有依次层叠于C面蓝宝石基板等基底基板上的Inz Ga1-z N层11(0≤z<1)、Alx Ga1-x N层12(0<x<1)、Iny Ga1-y N层13(0≤y<1)以及p型Inw Ga1-w N层14(0≤w<1)。在非运作时,在Alx Ga1-x N层12与Iny Ga1-y N层13之间的异质界面近旁部分的Iny Ga1-y N层13处形成二维空穴气15、且在Inz Ga1-z N层11与Alx Ga1-x N层12之间的异质界面近旁部分的Inz Ga1-z N层16处形成二维电子气16。