一种高耐热性光刻胶组合物及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201811260735.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109491204A | 公开（公告）日 | 2019-03-19 |
| 申请公布号 | CN109491204A | 申请公布日 | 2019-03-19 |
| 分类号 | G03F7/004;C08F8/28;C08F16/06 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 康文兵 | 申请（专利权）人 | 倍晶生物科技（上海）有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 200233 上海市徐汇区桂平路333号6号楼602室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种高耐热性光刻胶组合物及其制备方法，该高耐热性光刻胶组合物包括：a）基础光刻胶；b）高耐热性树脂；其中，所述基础光刻胶主要组分为酚醛树脂和光敏剂，所述高耐热性树脂为显影液可溶解的缩醛树脂。本发明的高耐热性光刻胶组合物，通过在基础光刻胶中添加显影液可溶解的缩醛树脂可以提高光刻胶的耐热性，由于缩醛基在光刻胶加热过程中可以与光刻胶树脂的酚羟基进行缩醛交换反应而带来整体膜的Tg增加而提高耐热性。 |
