一种耐热性光刻胶组合物
基本信息
| 申请号 | CN201810301085.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108535960A | 公开（公告）日 | 2018-09-14 |
| 申请公布号 | CN108535960A | 申请公布日 | 2018-09-14 |
| 分类号 | G03F7/004;G03F7/008;G03F7/038 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 康文兵 | 申请（专利权）人 | 倍晶生物科技（上海）有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 200233 上海市徐汇区桂平路333号6号楼602室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种耐热性光刻胶组合物，按重量份数计，包括：a）基础光刻胶；b）耐热性树脂；其中，所述基础光刻胶主要组分为酚醛树脂和光敏剂，所述耐热性树脂为显影液可溶解的含酰胺或酰亚胺基树脂。本发明的耐热性光刻胶组合物在曝光显影后，光刻胶的耐热性能提高；以及在蚀刻和离子注入等工艺时，可以更好的承受由于工艺带来的温度上升造成的尺寸变动，保持光刻胶不软化变形以达到工艺稳定性，保证了工艺良好的收率。 |
