一种多蒸发源镀膜装置
基本信息
| 申请号 | CN201721166681.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207243983U | 公开（公告）日 | 2018-04-17 |
| 申请公布号 | CN207243983U | 申请公布日 | 2018-04-17 |
| 分类号 | C23C14/24 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 龙汝磊;戴秀海;薛聪颖;赵小花 | 申请（专利权）人 | 东莞汇驰真空制造有限公司 |
| 代理机构 | 上海申蒙商标专利代理有限公司 | 代理人 | 光驰科技（上海）有限公司;东莞汇驰真空制造有限公司 |
| 地址 | 200444 上海市宝山区宝山城市工业园区城银路267号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是一种多蒸发源镀膜装置，其特征在于：在所述镀膜伞架下方设置有至少两个蒸发源，在所述蒸发源的上方分别设置有对应的膜厚补正板，所述膜厚补正板连接有驱动装置，所述膜厚补正板可在所述驱动装置的驱动下升起或下降，所述膜厚补正板升起到位后分别位于所述蒸发源和所述镀膜伞架之间，所述膜厚补正板下降到位后分别收拢于所述真空镀膜腔室。本实用新型的优点是：在取放镀膜伞架时，不需要将膜厚补正板拆除，就能取放镀膜伞架，增加了操作便利性；结构简单合理，适于推广。 |
