一种用于双面连续镀膜的分段式翻转镀膜治具机构专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种用于双面连续镀膜的分段式翻转镀膜治具机构

基本信息

申请号	CN201420571089.2	申请日	-
公开（公告）号	CN204174275U	公开（公告）日	2015-02-25
申请公布号	CN204174275U	申请公布日	2015-02-25
分类号	C23C14/56(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	龙汝磊;戴秀海	申请（专利权）人	东莞汇驰真空制造有限公司
代理机构	上海申蒙商标专利代理有限公司	代理人	光驰科技（上海）有限公司;东莞汇驰真空制造有限公司
地址	200444 上海市宝山区宝山城市工业园区城银路267号
法律状态	-

摘要

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种用于双面连续镀膜的分段式翻转镀膜治具机构，其特征在于：所述分割筋板的近端固定连接于所述镀膜伞架内圈外表面，所述分割筋板的远端设置有分支结构，所述分支结构由两个分支段构成，所述分支段分别向所述主支架延伸并与其构成连接固定，所述翻转镀膜治具安装于相邻的所述分割筋板之间，以及所述分割筋板上的两个所述分支段之间。本实用新型的优点是：具有分支和分割性；通过对治具分割形状的优化，解决大腔体真空镀膜机镀膜翻转治具过重的问题，同时避免了扇形工件治具在靠近伞架中心端载片量受限的缺陷；相比于完全是扇形翻转镀膜治具的镀膜伞架，在治具面积相同的情况下，本实用新型中的分段式翻转镀膜治具机构具有更多的载片量。