一种可旋转的膜厚补正板机构
基本信息
| 申请号 | CN201720438557.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206828627U | 公开（公告）日 | 2018-01-02 |
| 申请公布号 | CN206828627U | 申请公布日 | 2018-01-02 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 干黎明;龙汝磊;李刚正;裴蓓 | 申请（专利权）人 | 东莞汇驰真空制造有限公司 |
| 代理机构 | 上海申蒙商标专利代理有限公司 | 代理人 | 光驰科技（上海）有限公司;东莞汇驰真空制造有限公司 |
| 地址 | 200444 上海市宝山区宝山城市工业园区城银路267号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是一种可旋转的膜厚补正板机构，其特征在于：所述可旋转的膜厚补正板机构包括旋转部件、连接部件、补正板叶片和固定部件；其中所述旋转部件经由所述连接部件与所述补正板叶片连接，所述补正板叶片位于所述蒸发源与所述镀膜伞架之间，所述旋转部件通过所述连接部件驱动所述补正板叶片水平转动，以实现所述补正板叶片对所述蒸发源的遮挡或暴露。本实用新型的优点是：可以在同一个蒸发源位置上设置多个膜厚补正板，以满足在同一个蒸发源位置上进行蒸发特性不同的多种膜料镀膜的需求。 |
