用于真空系统运动机构的锁紧机构
基本信息
| 申请号 | CN201520093721.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN204474753U | 公开（公告）日 | 2015-07-15 |
| 申请公布号 | CN204474753U | 申请公布日 | 2015-07-15 |
| 分类号 | C23C14/56(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 龙汝磊;戴秀海 | 申请（专利权）人 | 东莞汇驰真空制造有限公司 |
| 代理机构 | 上海申蒙商标专利代理有限公司 | 代理人 | 光驰科技（上海）有限公司;东莞汇驰真空制造有限公司 |
| 地址 | 200444 上海市宝山区宝山城市工业园区城银路267号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及真空镀膜设备领域，尤其涉及用于真空系统运动机构的锁紧机构，其特征在于：所述机构至少由驱动气缸和弹簧锁紧导杆机构构成，所述弹簧锁紧导杆机构包括导杆、弹簧以及牵引块，所述导杆具有一运行通道，所述弹簧套装于所述导杆外壁，所述导杆外壁具有轴肩，所述运行通道内壁上具有滑套，所述弹簧位于所述滑套与所述轴肩之间的位置，所述导杆的一端连接固定所述牵引块，所述导杆的另一端为锁紧头，所述驱动气缸的活塞杆固定连接一机械牵引手臂，所述机械牵引手臂工作面形状与所述牵引块工作面形状匹配，用于牵引所述牵引块以控制所述导杆在所述运行通道内的往复动作。本实用新型的优点是：实现真空系统运动机构的有效锁紧及解锁。 |
