一种反应烧结制备氮化硅坩埚的方法

基本信息

申请号 CN201510096239.8 申请日 -
公开(公告)号 CN104744047A 公开(公告)日 2015-07-01
申请公布号 CN104744047A 申请公布日 2015-07-01
分类号 C04B35/584(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I;C04B35/64(2006.01)I 分类 水泥;混凝土;人造石;陶瓷;耐火材料〔4〕;
发明人 郭大为;吕东;宋丽岑;徐晨友 申请(专利权)人 烟台同立新材料有限公司
代理机构 北京轻创知识产权代理有限公司 代理人 烟台同立高科新材料股份有限公司
地址 265500 山东省烟台市福山区王懿荣大街20号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种反应烧结制备氮化硅坩埚的方法,包括:将硅粉、粘结剂和溶剂加入到球磨机中,或将硅粉、氮化硅粉、粘结剂和溶剂加入到球磨机中,混合均匀后,得浆料,将浆料放入干燥箱内烘干,得粉体,将粉体过筛,取筛下物,将筛下物均匀地洒在氮化硅坩埚模具的型腔内,压制成生坯,将生坯升温干燥排胶,将干燥排胶后的生坯放在石墨坩埚中,将石墨坩埚放入气压烧结炉内,待反应烧结结束后,降温出炉,即得氮化硅坩埚。本发明生产的氮化硅坩埚具有良好的耐高温、耐腐蚀、耐磨等特性,且杂质含量很低、生产流程简便,适合工业化大规模生产,所制成的不同尺寸的氮化硅坩埚能满足特殊工况的应用要求。