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MEMS气体变送装置

基本信息

申请号 CN202022932017.4 申请日 -
公开（公告）号 CN214174294U 公开（公告）日 2021-09-10
申请公布号 CN214174294U 申请公布日 2021-09-10
分类号 G01N33/00（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 汪献忠;李建国;曹威;侯新梅 申请（专利权）人 河南省日立信股份有限公司
代理机构 郑州豫开专利代理事务所（普通合伙） 代理人 朱俊峰
地址 450001河南省郑州市高新区玉兰街101号
法律状态 -

摘要

摘要 MEMS气体变送装置，包括测量气室、进气双卡套接头、出气双卡套接头、压力传感器和MEMS氢气浓度传感器，测量气室内设有内端口相互连通的进气孔、出气孔、第一传感器安装孔和第二传感器安装孔，进气双卡套接头的一端安装在进气孔的外端口内，出气双卡套接头的一端安装在出气孔的外端口内，压力传感器的连接端安装在第一传感器安装孔内，MEMS氢气浓度传感器安装在第二传感器安装孔内。本实用新型结构简单、体积小巧，便于安装及拆卸，测量气室内部空间小，测量过程中气体残留少，且通过引入压力传感器，使得本实用新型测量速度迅速，测量数值准确。