一种具有移动机械手的晶圆磨削设备
基本信息
| 申请号 | CN202011084607.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112207655B | 公开（公告）日 | 2022-07-15 |
| 申请公布号 | CN112207655B | 申请公布日 | 2022-07-15 |
| 分类号 | B24B7/22（2006.01）I;B24B29/02（2006.01）I;B24B55/00（2006.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 刘远航;马旭;赵德文;王江涛 | 申请（专利权）人 | 华海清科股份有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 300350天津市津南区咸水沽海河科技园聚兴道9号8号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种具有移动机械手的晶圆磨削设备，包括：设备前端模块、磨削模块、抛光模块、以及，移动传输模块，用于晶圆传输，其平行于抛光模块设置并位于前端模块和磨削模块之间；其中，移动传输模块包括移动存储台和移动机械手，移动存储台用于将晶圆从靠近设备前端模块的第一位置运送至靠近磨削模块的第二位置以及从第二位置运送回第一位置，移动机械手用于从设备前端模块接收干燥的晶圆并将干燥的晶圆放置于移动存储台上以避免污染晶圆并降低晶圆在不同模块之间传递的时间从而提高设备产能。 |
