金属膜厚测量方法、膜厚测量装置和化学机械抛光设备
基本信息
| 申请号 | CN202210206383.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114589617A | 公开（公告）日 | 2022-06-07 |
| 申请公布号 | CN114589617A | 申请公布日 | 2022-06-07 |
| 分类号 | B24B37/10;B24B37/013;B24B37/34;B24B49/10;B24B49/04 | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 王成鑫;王同庆;田芳鑫;侯映红;路新春 | 申请（专利权）人 | 华海清科股份有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 100084 北京市海淀区清华园1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种金属膜厚测量方法、膜厚测量装置和化学机械抛光设备，方法包括：基于幅值法或相位法测量晶圆表面金属薄膜的膜厚时，计算幅值法或相位法对应的极值点；根据所述极值点、测量量程和/或测量灵敏度来调节激励频率，其中，所述测量量程为测量膜厚范围，所述测量灵敏度为分辨率，所述激励频率为用于膜厚测量装置的激励信号的频率。本发明利用极值点，可以得到幅值法和相位法中最优的测量量程和测量灵敏度。 |
