一种用于化学机械抛光的修整装置及系统
基本信息
| 申请号 | CN202221174011.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216940138U | 公开（公告）日 | 2022-07-12 |
| 申请公布号 | CN216940138U | 申请公布日 | 2022-07-12 |
| 分类号 | B24B53/017（2012.01）I;B24B57/02（2006.01）I;B24B49/10（2006.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 王春龙;许振杰;陈映松;路新春;王同庆;赵德文 | 申请（专利权）人 | 华海清科股份有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 300350天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于化学机械抛光的修整装置及系统，所述修整装置包括固定座、摆臂和修整器，所述修整器设置于摆臂的端部并绕固定座摆动；所述修整器包括修整头和检测组件，所述修整头用于修整抛光垫，所述检测组件与修整头在水平方向相邻设置以检测抛光垫的形貌。 |
