减震光刻机及其减震方法
基本信息
| 申请号 | CN202011404941.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112709778A | 公开（公告）日 | 2021-04-27 |
| 申请公布号 | CN112709778A | 申请公布日 | 2021-04-27 |
| 分类号 | F16F15/02;F16F15/023;F16F15/04;F16F15/06;F16M5/00;G03F7/20 | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 王智洋;张庆源;李群;王春霞 | 申请（专利权）人 | 微控物理储能研究开发（深圳）有限公司 |
| 代理机构 | 深圳国新南方知识产权代理有限公司 | 代理人 | 周雷 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市南山区粤海街道高新南区粤兴三道虚拟大学园产业化大楼A区A605-607-M | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种减震光刻机及其减震方法，所述减震光刻机包括被动隔振装置、设于所述被动隔振装置上的飞轮减震装置、设于所述飞轮减震装置上的光刻机以及与所述被动隔振装置和所述飞轮减震装置电连接的控制系统，所述飞轮减震装置包括支撑所述光刻机且与所述被动隔振装置连接的第一平台、与所述第一平台远离所述光刻机一侧相连的至少三个第一飞轮以及与所述第一飞轮输出端电连接的双向逆变器，三个第一飞轮的中心轴均不平行，双向逆变器与所述光刻机的输入端电连接，所述控制系统包括若干传感器以及与所述传感器和第一飞轮电连接的控制器。通过以上方式，可以完全消减被动隔振装置的带宽限制，消除光刻机的摆动，同时大大削弱了线性震动。 |
