一种可控晶面取向的薄膜材料及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202111055113.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113753847B | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN113753847B | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | B81C1/00（2006.01）I;B81B1/00（2006.01）I;B23K26/362（2014.01）I | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 张良静;王萌;薛金星;周沧涛 | 申请（专利权）人 | 深圳技术大学 |
| 代理机构 | 深圳市君胜知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 518118广东省深圳市坪山区石井街道兰田路3002号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种可控晶面取向的薄膜材料及其制备方法，包括：将飞秒激光聚集在衬底上，在衬底表面加工出三维结构阵列；将飞秒激光聚集在三维结构阵列上，在衬底表面加工出三维超润湿模板阵列；将水溶性晶体颗粒滴加到三维超润湿模板阵列上，并对衬底进行加热处理，得到可控晶面取向的薄膜材料；其中，三维结构阵列包括若干三维结构，若干三维结构的尺寸和形状由水溶性晶体颗粒的尺寸和形状确定。本发明通过三维超润湿模板阵列的超湿润性吸附水溶性晶体颗粒，并利用加工区域与未加工区域的表面能差异，对水溶性晶体颗粒的扩散进行限制，得到晶粒取向一致，尺寸大小均一的薄膜材料，薄膜生长速度快，制备方法简单，制备过程不受材料和衬底约束。 |
