适用于激光在线测厚的振动补偿方法
基本信息
| 申请号 | CN202010380375.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111504206B | 公开（公告）日 | 2021-08-03 |
| 申请公布号 | CN111504206B | 申请公布日 | 2021-08-03 |
| 分类号 | G01B11/06（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 周华民;宋华雄;杨志明;张云;周军;王云明 | 申请（专利权）人 | 深圳市信宇人科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市金笔知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 胡清方;彭友华 |
| 地址 | 518000广东省深圳市龙岗区龙城街道回龙埔社区鸿峰（龙岗）工业厂区2号厂房一楼、二楼、三楼、四楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于薄膜制造加工过程中的在线检测领域，更具体的，涉及一种适用于激光在线测厚的振动补偿方法。该方法包括以下内容：（1）运用激光在线测厚系统，在同一测量环境下，对待测带材和高精度铜箔进行在线扫描测量；（2）带材和铜箔测厚数据中均包含扫描测量时的振动误差，铜箔制造精度高，数据中的误差大部分是由振动导致，而待测带材也受到了相似的振动影响；（3）对测厚数据进行频谱分析，观察数据频率组成信息；（4）对比分析待测带材和铜箔频谱的相似性，对数据进行适当处理，很好地去除了振动对在线扫描测厚的影响，实现了测厚数据的振动补偿和精度优化。 |
