一种钙钛矿气氛处理装置
基本信息
| 申请号 | CN201910151835.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109950409A | 公开（公告）日 | 2019-06-28 |
| 申请公布号 | CN109950409A | 申请公布日 | 2019-06-28 |
| 分类号 | H01L51/48（2006.01）I; H01L51/42（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王堉; 陈乐伍; 赖其聪; 周航 | 申请（专利权）人 | 深圳市先进清洁电力技术研究有限公司 |
| 代理机构 | 北京卓岚智财知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 深圳市先进清洁电力技术研究有限公司 |
| 地址 | 518100 广东省深圳市龙岗区雅宝路1号星河WORLD一期A栋28层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种钙钛矿气氛处理装置，包括处理腔室、密封盖，阀门、真空泵、气体发生器和控制器部分；所述阀门与处理腔体连通然后连接真空泵，或者处理气体，处理腔体有配套密封盖，保证密封同时便于放取样品，通过抽真空然后充入处理气体的方式实现均匀处理，配合电控系统能实现精确控制，有利于得到均匀高质量的钙钛矿薄膜，同时提高重复性和良率。 |
