一种石英音叉的加工方法
基本信息
| 申请号 | CN202110639910.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113376961A | 公开（公告）日 | 2021-09-10 |
| 申请公布号 | CN113376961A | 申请公布日 | 2021-09-10 |
| 分类号 | G03F7/004（2006.01）I;C23C14/18（2006.01）I;C23C14/16（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I;C23C14/24（2006.01）I;C23C14/02（2006.01）I;C23C14/58（2006.01）I;B08B3/12（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 林家海 | 申请（专利权）人 | 浙江一晶科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 杭州橙知果专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 杜放 |
| 地址 | 317700浙江省台州市椒江区飞跃科创园17幢1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种石英音叉的加工方法，包括以下步骤：a：将配制后的处理液倒入烧杯内，同时将石英音叉元件均匀的布置在烧杯内，将烧杯放入超声波槽内进行超声，超声后排出烧杯内处理液，将烧杯内的石英音叉元件用冷热交替纯水流水冲洗，再用去离子水流水冲洗，并进行二次超声；b：采用真空溅射和真空热蒸发对基本元件进行镀膜；c：采用光刻机将石英音叉元件第一面进行光刻；d：将第一面光刻后的石英音叉元件放入腐蚀液中；e：采用光刻机套刻第二面音叉图形，采用黑白十字标记套准；f：将第二面光刻后的基本元件放入腐蚀液中，剥离除光刻胶；g：采用氢氟酸和氟化铵溶液对基本元件进行化学腐蚀。 |
