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一种砷化镓器件金属保护环

基本信息

申请号	CN202010110737.4	申请日	-
公开（公告）号	CN111162058A	公开（公告）日	2020-05-15
申请公布号	CN111162058A	申请公布日	2020-05-15
分类号	H01L23/60	分类	基本电气元件;
发明人	沈留明;程岸;王彦硕;汪耀祖	申请（专利权）人	杭州立昂东芯微电子有限公司
代理机构	浙江英普律师事务所	代理人	杭州立昂东芯微电子有限公司
地址	310018 浙江省杭州市杭州经济技术开发区20号大街199号1-5幢
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种砷化镓器件金属保护环。本发明砷化镓器件金属保护环围绕管芯设置并包括至少三层金属层，第一层金属层设置在衬底上，第二层以上金属层包括连接在一起的连续部和断开部，连续部围绕管芯，连续部的上方和上一层金属层连接，断开部分段设置，断开部下方和下一层金属层连接，第二层以上相邻两层金属层的断开部互相错开设置，金属保护环两侧及相邻的两个断开部之间为介电材料。本发明使得第二、第三层金属层之间不容易残留BCB有机介电材料，提高了器件可靠性。由于金属层连续部和断开部形成类似桥墩型结构，使得器件在保护环处更加稳定，提供器件良率，也使得电镀金使用量减少，降低了成本，本发明设计巧妙，加工方便，具有极好的效果。