一种铟镓磷异质结双极型晶体管及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201610253781.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105870166B | 公开（公告）日 | 2019-02-12 |
| 申请公布号 | CN105870166B | 申请公布日 | 2019-02-12 |
| 分类号 | H01L29/08;H01L21/331;H01L29/737 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 汪耀祖 | 申请（专利权）人 | 杭州立昂东芯微电子有限公司 |
| 代理机构 | 杭州杭诚专利事务所有限公司 | 代理人 | 杭州立昂东芯微电子有限公司 |
| 地址 | 310018 浙江省杭州市下沙经济技术开发区20号大街199号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种铟镓磷异质结双极型晶体管及其制造方法。铟镓磷异质结双极型晶体管从下至上依次包括衬底、重掺杂次集电极区层、重掺杂铟镓磷蚀刻终止层、轻掺杂集电区层、基区层、轻掺杂铟镓磷发射区层和重掺杂发射帽层。本发明能够有效提高异质结双极型晶体管的线性度和可靠性。 |
